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年度	2025年度	開講部局	先進理工系科学研究科博士課程前期先進理工系科学専攻量子物質科学プログラム
講義コード	WSP05800	科目区分	専門的教育科目
授業科目名	Technology Analytics on Advanced LSIs
授業科目名 （フリガナ）
英文授業科目名	Technology Analytics on Advanced LSIs
担当教員名	若林　整
担当教員名 (フリガナ)	ワカバヤシ　ヒトシ
開講キャンパス	双方向	開設期	1年次生   前期   ２ターム
曜日・時限・講義室	(2T) 集中
授業の方法	講義	授業の方法 【詳細情報】	オンライン（同時双方向型）
			講義中心、演習中心
単位	2.0	週時間		使用言語	E : 英語
学習の段階	6 : 大学院専門的レベル
学問分野（分野）	25 : 理工学
学問分野（分科）	12 : 電子工学
対象学生	博士課程前期学生
授業のキーワード	大規模集積回路(VLSI)技術、CMOS集積回路、スケーリング技術、微細化技術、露光技術、成膜技術、エッチング技術、CMP技術、メモリデバイス技術、センサー技術、アクチュエータ技術、配線技術、パッシブデバイス技術、パッケージ技術
教職専門科目		教科専門科目
プログラムの中での この授業科目の位置づけ （学部生対象科目のみ）
到達度評価 の評価項目 （学部生対象科目のみ）
授業の目標・概要等	現代社会を根底で支える大規模集積回路(VLSI)技術について理解しておくことはとても重要です。そこで具体的にはLSIの断面透過型電子顕微鏡写真などを用いて、製造技術について総合的に理解することを進めます。
授業計画	第一日目 午後 第1回 緒言：LSI製造技術、解析方法紹介 第2回 ロジックLSI: 説明と発表準備 第二日目 第3回 ロジックLSI: 発表と議論 第4回 Memory: 説明と発表準備 第三日目 第5回 Memory: 発表と議論 第6回 センサ：説明と発表準備 第四日目 第7回 センサ：発表と議論 第8回 結言：将来技術 将来の方向性
教科書・参考書等	教科書：タウア・ニン　最新VLSIの基礎、第2版、芝原健太郎、宮本恭幸、内田建監訳、丸善出版
授業で使用する メディア・機器等
	【詳細情報】
授業で取り入れる 学習手法
予習・復習への アドバイス	特にありません
履修上の注意 受講条件等	この授業はIntegrated Green-niX College関連講義（東京科学大学、豊橋技術科学大学，長岡技術科学大学，明治大学との半導体人材育成に係る単位互換に関する覚書に基づく講義）になります。 事前に各大学の特別聴講学生申請手続をしていない場合は履修登録が出来ませんのでご注意ください。
成績評価の基準等	試験は行わず、発表内容と最後の回で出題するレポートにより、評価を行います。
実務経験
実務経験の概要と それに基づく授業内容
メッセージ
その他
すべての授業科目において，授業改善アンケートを実施していますので，回答に協力してください。 回答に対しては教員からコメントを入力しており，今後の改善につなげていきます。